研究業績

第87回応用物理学会秋季学術講演会, 8p-PA1-9 (2026)
デュアルコム分光を用いた多層膜の厚さ測定に向けた検証

著者

〇高梨優希1、斧田将吾1、武子尚生1、高橋直人2、中嶋善晶1(1.東邦大学、2.大塚電子株式会社)

カテゴリ

国内学会発表